オゾン発生装置 オゾナイザー

チタニア系セラミックスの採用によって、高性能&長寿命を実現した岩崎電気のオゾン発生器「アイ オゾンパワー」。汎用性の高い高品質なオゾンを安定供給します。

オゾン発生器 アイ オゾンパワー

チタニア系セラミックスを採用した電極は、高濃度のオゾンを安定的に発生させると同時に耐久性を飛躍的に伸ばすことに成功。また、誘電体としてアルミナを用いる沿面放電方式が放電現象によるスパッタリングを最小限に抑えクリーンなオゾンの発生を可能にしました。低出力タイプから、100,000ppmという超高濃度のオゾンを発生させることのできる高出力タイプまで、さまざまな機種が揃っており、あらゆる用途やニーズに幅広く対応することができます。

オゾン発生器の用途例

  • 樹脂表面処理:濡れ性の改善
  • 半導体:酸化膜処理
  • CVD:酸化処理
  • オゾン水生成:高濃度オゾン水
  • 脱臭:室内・庫内の脱臭
  • 水処理:殺菌・有機物の酸化分解
  • アッシング:フォトレジストの分解・除去

オゾン発生原理

チタニア系セラミックオゾナイザーのオゾン発生原理

※ユニット化されたオゾン発生体を採用していることによりオゾン発生体の組合せで必要なオゾン量を容易に得ることが出来ます。

  1. 高純度・高強度のアルミナセラミックス発生体。
  2. 発生体と高マッチングを実現した高性能電源装置。
  3. 高周波電源装置から適切な高周波・高電圧を発光体に印加すると、放電電極から強力な沿面放電が発生します。
  4. ここに原料ガス(酸素又は、乾燥空気)を供給することにより、高濃度のオゾンが生成されます。

オゾン発生器 アイ オゾンパワーの特長


チタニア系セラミックス発生体素子

オゾン発生状態
  • 安定したオゾン発生量の実現(PAT.P)
    常にオゾン発生量を監視し、制御系にフィードバックすることで、安定した必要オゾン量が得られます。また、オゾン発生量の維持管理も可能となりました。
  • 長期寿命・長期安定性の実現
    チタニア系半導体電極の採用によって、安定性・耐久性が飛躍的に向上しました。
  • 小型・軽量・コンパクト設計
    新方式のオゾン発生方式により、従来の3分の1という小型化に成功しました。
  • クリーンなオゾンの発生に成功
    セラミックス電極の採用によって、放電現象によるスパッタリングを最小限に抑制できました。
  • 加熱自動防止機能
    冷却水の供給がストップすると、自動的に電源が停止する安全設計です。
  • ノイズ防止機能
    周囲の電気製品に影響を及ぼすノイズ発生を徹底的に防止しました。
  • 低価格
    コンパクト設計、新型電極の採用によって低価格を実現しました。
  • 多様な用途に対応
    低出力(1mg/h)~高出力(1kg/h)まで、さまざまな機種をご用意できます。
  • これからのキーワードは、「活性酸素」です。紫外線ランプとの組合せは、新しい可能性を期待出来ます。
  • ダストフリータイプ、小型で設置場所を取らず、高濃度のためCVD装置など半導体製造装置に最適です。
  • 病院、医薬品製造、食品加工・容器などの殺菌は勿論、脱色・漂白、脱臭などにご活用いただけます。
  • 高圧力のオゾンガスを得られますので、水処理用、オゾン水生成用に最適です。オゾン水は、液晶・半導体での洗浄・剥離、除菌、カビ取りなどのほか臭化メチルなどの農薬代替、野菜などの農薬洗浄、カット野菜の保存等多くの用途にご活用いただけます。

オゾン発生器「アイ オゾンパワー」ラインアップ

OP-30W

高濃度、高純度のオゾン発生を実現したラックマウントタイプのオゾン発生器。安定濃度回路、濃度コントロール回路等を内蔵した実務タイプの製品で、半導体関連装置として多くの実績を残しています。

形式 OP-30W
寸法 W430mm×D405mm×H174mm
質量 25kg
冷却水量 2ℓ/min
消費電力 550W
電源電圧 100V±10V
電源周波数 50/60Hz
原料ガス 酸素
オゾン発生量 15~30g/h
濃度 50~130g/m³
ガス流量 2~10ℓ/min

OP-100W

時代のニーズに合わせ開発に成功した超高濃度、超純度オゾン発生器です。他の追従を許さない高性能を実現しました。

形式 OP-100W
寸法 W430mm×D420mm×H280mm
質量 62kg
冷却水量 4ℓ/min
消費電力 1600W
電源電圧 200V~220V
電源周波数 50/60Hz
原料ガス 酸素
オゾン発生量 50~100g/h
濃度 100~180g/m³
ガス流量 3~20ℓ/min

OP-20W

沿面放電方式を採用し、小型化・軽量化に成功。誘電体にアルミナセラミックスを用い、放電現象によるスタッパリングを最小限に抑えました。ファンを使用していないので埃やチリを巻き上げません。

形式 OP-20W
寸法 W150mm×D180mm×H425mm
質量 12kg
冷却水量 2ℓ/min
消費電力 450W
電源電圧 100V±10V
電源周波数 50/60Hz
原料ガス 酸素
オゾン発生量 10~23g/h
濃度 40~120g/m³
ガス流量 2~10ℓ/min

光に関するお悩み、なんでもご相談ください。

紫外線・電子線での硬化・改質・洗浄なら岩崎電気にお任せください。
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岩崎電気 光・環境営業部

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