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活性酸素モニタ

水晶振動子センサを利用し、活性酸素量を検出します。

活性酸素モニタ

特長

  • 水晶微小天秤(Quartz Crystal Microbalance)法を利用した活性酸素検出
  • 差分演算方式による高検出感度・リアルタイムモニタリング
  • 任意ポイントの測定

※本製品は産業技術総合研究所、東海大学との共同開発品です

活性酸素検出原理

活性酸素と検出層の反応による検出薄膜(PTFE系有機薄膜など)の質量減少量を周波数の変化量として高感度で検出。
参照センサと検出センサ測定値の差分演算処理によって、センサ表面がこうむった純粋な活性酸素表面作用量をモニタできます。

活性酸素を用いる様々なプロセス

  • 表面処理プロセスで利用される活性酸素の表面への作用量を被処理基材側の観点からリアルタイムでモニタしたい
  • 処理条件の最適化、歩留まりを向上させたい

といったご要望にお応えします

活性酸素モニタの応用事例

大気圧プラズマプロセス

活性酸素作用量のモニタ

UVオゾンプロセス

UV+原子状酸素作用量モニタ

減圧プラズマプロセス

レジストエッチング量のモニタ

成膜プロセス

イオン照射量のモニタ

※上記プロセスは一例です。必ずしもモニタの検出動作を保証するものではありません。

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