特殊用途光源

見える光、見えない光の制御。あらゆる産業分野で光の可能性がさらに広がります。

高圧水銀ランプ(硬化・殺菌)・メタルハライドランプ(硬化・乾燥)
キセノンランプ(殺菌・硬化・改質)
低圧水銀ランプ(殺菌・洗浄/改質・オゾン生成)
ハロゲンランプ(高演色・局所加熱)

半導体製造関連光源

露光装置用超高圧UVランプ

シリコンウェハーへ回路の焼き付けを行う、半導体製造に欠かせない露光用の超高圧水銀ランプです。

成膜装置用 ハロゲンランプ

薄膜を成長させるウェハー加熱用ハロゲンランプです。写真のランプに限らず、多様なラインアップを準備しております。

半導体製造関連光源

UV酸化処理装置

半導体の製作に欠かせない純水や、工場からでる廃水から、有機物を分解して除去する為の処理装置です。

洗浄・改質

バッチ式紫外線洗浄・改質装置

コンパクト・軽量サイズ。生産・実験用の紫外線洗浄・改質処理が簡単操作で行えます。

ハロゲン加熱

ハロゲンランプ加熱システム

加熱用ハロゲンの優れた特性を最大限に生かす加熱システムの提案が可能です。

加熱用ハロゲンランプ

高い効率と素早いレスポンスで多くの産業分野で用いられるクリーンな熱源です。

高速度撮影用光システム

撮影機器のデジタル化、ハイスピード化、カラー化に対応し、高速度撮影に最適な光環境を生みだします。

高出力形LED投光器

従来のメタルハライドランプと比較して瞬時点灯や省エネルギー、発熱量の抑制などを実現した高速度撮影用LED投光器です。

アイLEDベルライン

高い演色性を持ち40W相当の蛍光灯器具に取付け可能で、色相、塗装色など外観検査に最適です。

高出力ハロゲンヒータユニット

高出力加熱&省スペースで生産性を向上、各種の加熱加工プロセスで使用されるハロゲンヒータです。

半導体製造用各種ランプ

半導体製造に欠かせない露光用の超高圧水銀ランプと薄膜を成長させるウェハー加熱用ハロゲンランプです。

UV-LED面照明装置 エリア照射タイプ

任意のエリアに面状に紫外線を照射出来る照明装置です。反射鏡による光学制御で指向性良く光を照射するため、照射距離の長い用途にも対応可能です。