表面殺菌、例えばフィルム殺菌などにUVを使用すると、処理スピードが早い場合には、十分な殺菌能力が得られないことがあります。こういった分野に100kVEB照射装置はその能力を発揮します。
また、電子線は光(電磁波)であるUVとは異なり、粒子線ですから空気や物質によって散乱するという特異的な性質を持っています。この性質を利用して、従来、UVでは陰になってできなかった(シャドー効果)複雑な形状の殺菌も行うことが出来ます。
表8でUV殺菌とEB滅菌の比較を行いました。

表8　EB滅菌とUV殺菌の比較表

有利　◎＞○＞△＞×　不利